原理是利用光子辐射来探测，快速找到失效的缺陷部位；主要应用于：集成电路元器件失效分析、无损失效分析、细微缺陷探测。
1. EMMI光发射显微镜是一种效率极高的失效分析工具，提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式，可侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光)，捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光；
2. EMMI侦测对应故障种类涵盖ESD、Latch up、I/O Leakage、Junction Defect、Hot Electrons、Oxide Current Leakage等所造成的异常；
3. EMMI对漏电流的侦测可达微安级别。
特点：
1. 高分辨率， 达0.4µm
2. 正面、背面双向探测
3. 纳米级波长
4. 高灵敏度光子探测头
5. 可与其它仪器配合使用，如探针台
6. 全电脑控制
