原理是利用光子輻射來探測，快速找到失效的缺陷部位；主要應用於：集成電路元器件失效分析、無損失效分析、細微缺陷探測。
1. EMMI光發射顯微鏡是一種效率極高的失效分析工具，提供高靈敏度非破坏性的故障定位方式，可偵測和定位非常微弱的發光(可見光及近紅外光)，捕捉各種元件缺陷或異常所產生的漏電流可見光；
2. EMMI偵測對應故障種類涵蓋ESD、Latch up、I/O Leakage、Junction Defect、Hot Electrons、Oxide Current Leakage等所造成的異常；
3. EMMI對漏電流的偵測可達微安級別。
特點：
1. 高分辨率， 達0.4µm
2. 正面、背面雙向探測
3. 納米級波長
4. 高靈敏度光子探測頭
5. 可與其它儀器配合使用，如探針台
6. 全電腦控制
